میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM)

  میکروسکوپ الکترونی روبشی یکی از بهترین روش‌های آنالیزی سطحی برای مشاهده مورفولوژی نانوساختارها است که قابلیت تهیه تصاویر با بزرگنمایی 500.000 برابر و قدرت تفکیک بین 20-1 نانومتر (بسته به نوع و مدل میکروسکوپ) را دارد. این نوع از میکروسکوپ‌ها در صورتیکه به تجهیزات اضافی مجهز شوند، می‌تواند برای آنالیز شیمیایی، بررسی ترکیب، خصوصیات سطح و ریزساختار داخلی در ابعاد میکرونی و نانومتری به‌کار گرفته شودند. سازوکار عملکرد این نوع از میکروسکوپ‌ها مانند میکروسکوپ‌های نوری است، با این تفاوت که در آنها بجای نور، از پرتوی الکترونی و به جای عدسی‌های نوری از عدسی‌های مغناطیسی استفاده می‌شود. این میکروسکوپ از روش‌ تولید تصویر با روبش یک پرتو الکترونی روی سطح نمونه استفاده می‌کند، هنگامی که باریکه الکترونی به سطح نمونه تابش می کند، بین سطح و الکترون ها برهم کنش رخ داده و نتیجه حاصله ساطع شدن پرتوهای الکترونی متفاوتی با شاخصه های اطلاعاتی گسترده ای از سطح و اجزا تشکیل دهنده نمونه می باشند. الکترون های مذکور معیاری از شناسایی و برچسب زنی سطح مواد می باشند که توسط سیستم پیچیده آشکارسازها، تبدیل به تصویر و اطلاعات مفید دیگری در پردازنده میکروسکوپ الکترونی می شوند. به دلیل آنکه طول موج الکترون‌ها از فوتون‌های نور کوتاه‌تر بوده، طول موج کوتاه‌تر باعث ایجاد تصاویر با وضوح و قدرت تفکیکی بسیار زیادی می‌شود، تا حدی که امکان مشاهده مواد با اندازه نانومتری حاصل می‌شود.

اطلاعات فنی دستگاه


قدرت تفکیک
تا 70 نانومتر
بزرگنمایی
تا 70.000 برابر
ولتاژ شتابدهی
تا 20 کیلو ولت
منبع تفنگ الکترونی
تنگستن
سیستم خلاء
مجهز به پمپ توربو مولکولار و روتاری

خدمات قابل ارائه در آزمایشگاه میكروسكپ الكترونی :

  • تهیه تصاویر سه بعدی
  • تهیه تصاویر و بررسی ساختار میكروسكپی
  •  اندازه گیری ابعاد ذرات
  • تعیین تركیب شیمیایی زمینه و آنالیز نقطه ای و بالک به صورت عنصری (EDS)