پروفایلومتر (ضخامت سنج)

  پروفایلومتر از ابزارهای کلیدی در آزمایشگاه‌های لایه نازک محسوب می شود که توسط آن اندازه‌گیری پروفایل سطح و ضخامت لایه‌های مختلف به صورت دو بعدی و سه بعدی در مقیاس نانو، میزان زبری‌ سطح و ویژگی‌های ابعادی نمونه مورد آنالیز را در اختیار کاربر قرار می‌دهد. پروفایلومتر اپتیکی، روشی بر پایه تداخل غیر‌تماسی می‌باشد که با حرکت سوزن (tip) بر روی سطح بدون آسیب رساندن به نمونه، پستی و بلندی و ارتفاع پله را می‌توان اندازه گرفت و ضخامت لایه را تعیین کرد و یا میزان زبری سطح را مشخص نمود که ابزاری مفید برای مشخصه‌یابی توپوگرافی سطح است. از این ابزار می‌توان در ادوات میکروالکترومکانک و میکروفلوئیدیک جهت اندازه‌گیری‌های بحرانی قطعه ساخته شده و تعیین ضخامت و زبری سطح استفاده کرد.

اطلاعات فنی دستگاه

بزرگنمایی
تا 100 برابر
قدرت تفکیک در راستای عمود بر نمونه
50±10 نانومتر
قدرت تفکیک در راستای حرکتی نمونه
5 میکرومتر روبش سطحی
قابلیت جابجایی نمونه
در دو راستا
جنس و اندازه نوک سوزن
استیل- 20 میکرومتر
امکانات
قابلیت کنترل کامل دستگاه توسط نرم‌افزار
مشاهده نمونه با CCD TV
اندازه‌گیری ضخامت برای نمونه‌های غیر رفلکتیو
پروفایلومتری بدون نیاز به دانستن اطلاعات نمونه