رسوبدهی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما با اعمال جریان مستقیم (DC-PECVD)

  در این دستگاه یک سیستم منبع تغذیه ولتاژ بالا برای تولید پلاسما، پمپ ­های خلاء مکانیکی جهت پایین آوردن فشار داخل محفظه و آند و کاتدی از جنس فولاد ضد زنگ وجود دارد که با اعمال جریان به دو الکترود میدان الکتریکی قوی ایجاد می شود که در نهایت سبب ایجاد پلاسما از گاز مورد نظر وارد شده به محفظه کوره بین دو الکترود می ­شود. کوره­ های این دستگاه از جنس کوارتز برای اعمال دمای بالا، تا 900 درجه سانتی­گراد و با کنترل دمایی دقیق می­ باشند که وجود آن در بسیاری از ازمایشگاه ­های افزاره ­های سیلیکونی و نیمرسانا کاربردی­ است.

از این دستگاه می ­توان برای رشد کامپوزیت ­ها و نانولوله ­ها کربنی بر روی مواد دیگر استفاده کرد. کامپوزیت­های کربنی در ادواتی از قبیل باتری­ های لیتیوم یون بسیار پر کاربرداند و همچنین ازین دستگاه می­ توان جهت انجام دوپینگ ­هایی مثل نیتروژن و هیدروژن جهت بهبود عملکرد اتصالات فلزی و انتقال جریان بهره برد. نانو لوله ­های کربنی خواص ویژه ­ای دارند بنابر این دارای کاربرد­هایی جهت ساخت سنسور و قطعات الکترونیک و بایو الکترونیک و اداوات انرژی از جمله ابر خازن­ ها و باتری ­های لیتیوم یون می باشند. علاوه بر موارد ذکر شده توسط این دستگاه می ­توان رشد گرافن و زدایش اکسید را انجام داد. گرافن از شاخص ترین مواد دوبعدی است که می ­تواند در مصارف ادوات الکترونیکی و ذخیره کننده­ های انرژی و ادوات اپتوالکترونیک کاربردهای ویژه ­ای داشته باشد.

اطلاعات فنی دستگاه

قطر دهانه کوره
60 میلی متر
تعداد و جنس محفظه
دو عدد- کوارتز
بیشینه میزان خلا
mtorr 80
گازهای مورد استفاده
C2H2, C2H4, H2, N2, Ar
منبع تغذیه
ولتاژ مستقیم تا 1000 ولت
جریان 100 میلی ­آمپر

بیشینه دمای کاری
750 درجه سانتی­گراد
میزان خلاء
Torr 5×10-3
امکانات
رشد گرافن، رشد نانولوله ­های کربنی
زدایش