لایه نشانی تبخیر در خلاء بالا با دو منبع تبخیر الکترونی و حرارتی

لایه نشانی

اطلاعات فنی دستگاه
فشار پایهTorr 10-6
پمپ تخلیهروتاری و توربو
ضخامت سنجدارد
قطر محفظه380 میلی متر